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参数 | 项目 | ZYY-ZTB-XY-200X200 | Z10 |
电机类型 | 三相无铁芯电机 | 音圈电机 |
光栅分辨率 | 默认100nm数字量（可选1vpp模拟量或者其他分辨率） | |
电机推力 | 持续60N/峰值210N | 持续30N/峰值90N |
最小步长[nm] | 200nm | 200nm |
行程 [mm] | 200x200 | 10 |
重复定位精度 [um] | ±0.3 | |
定位精度 [um] | ±1 | ±0.5 |
平面度 [um] | 10um | 8um |
直线度 [um] | 1um | 1.5um |
最大速度 [mm/s] | 500mm/s | 50mm/s |
最大负载 [kg] | 5kg（Z轴带气动恒力平衡配重） | |
