ZYY-ZQQF-200系列直驱气浮转台

ZYY-ZQQF-200系列直驱气浮转台

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规格

参数

电机扭矩

0.32Nm额定 1.2Nm峰值

最大转速

1000rpm

编码器线数

7200line

编码器分辨率

0.45sec(数字量对应0.1um,可选1Vpp更高分辨率)

重复定位精度

±1sec

轴向最大负载(5bar

800N

径向最大负载(5bar

200N

轴向最大刚性(5bar

320N/um

径向最大刚性(5bar

85N/um

轴向最大跳动*

<100nm

径向最大跳动*

<100nm

综合耗气量

18NL/min