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【产品特点】
■ZYY-ZD系列气浮式主动减振,针对扫描电镜、透射电镜、扫描隧道显微镜等超精密设备而研发。
■采用前哨减振技术高端型气浮减振器进行基础隔振,即使在安装现场环境有不规律的冲击振动时,也能确保持续的振动稳定性。
■前哨减振技术自研的THA主动减振系统,实现6自由度主动减振。前馈控制技术与反馈控制相结合,在低频范围提供出色的隔振效果。
■可选电控自动调平系统或机械调平系统,自动调整水平,一键启动减振。
【产品应用】
■显微镜、光学设备 、检测设备等静态设备或微动设备
【传递率】
应用案例

规格参数:
