ZYY-YD3015线性压电纳米位移台

 产品优势

1.结构紧凑，高刚性

2.零间隙，高精度柔性铰链导向系统

3.室温到液氦工作温度，超高真空兼容

4.压电陶瓷促进器具有超长使用寿命

5.带位移传感器，提供位置和速度闭环控制

产品应用

电子显微镜原位纳米探针台，半导体芯片检测，光刻机工件台，微生物操纵手，光纤焊接，超精密组装，精密检测与测量。