咨询电话：15533992748
参数 | 项目 | ZYY-QFZ-20 | ZYY-QFZ-38 |
电机类型 | 音圈电机 | |
光栅分辨率 | sincos 4.88nm（可选其它更高分辨率） | |
电机推力 | 持续27N/峰值119N | 持续45N/峰值192N |
最小步长[nm] | 10nm(搭配nanopwm或者线性驱动器) | |
行程 [mm] | 20 | 38 |
重复定位精度 [um] | ±50nm | |
定位精度 [um] | ±150nm | |
平面度 [um] | 1um | 1.5um |
直线度 [um] | 0.5um | 0.7um |
最大速度 [mm/s] | 50mm/s | |
最大负载 [kg] | 6kg(采用气动恒力弹簧平衡) | |
