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【产品特点】
■ XY轴为U1系列高性能直线电机平台组成（迷宫式密封防护效果好没有易损件和粉尘）
■ R轴为高精度扁平化DD马达 Z轴标配U3系列高精度伺服电机平台（可选配高性能直线电机平台）
■底座为济南青或印度黑等高性能石材，精度可选0级或00级
■ 可根据应用要求选配机架及隔振系统
■XY运动系统经过优化，支持快速启停、连续整定应用（10kg负载2mm行程运动加整定＜30ms（运动时间20ms，整定时间5-8ms））
【产品选型参数】
| 规格轴(从下往上) | Y轴 | X轴 | R轴 | Z轴 |
| 标准轴型号 | ZYY-FBDZ-XX | ZYY-FBDZ-XX | ZDDR224 | ZYSVM210-XX |
| 行程 | 100/200/300/400 | 100/200/300/400 | 360° | 50/100/200/300 |
| 光栅分辨率 | 100nm | 100nm | 1sec | - |
| 重复定位精度 | ≤1um(±0.5) | ≤1um(±0.5) | ≤±1sec | ≤3um(±1.5) |
| 最大速度*2 | 1000mm/s | 1000mm/s | 4rps | 200mm/s |
| 最大负载 | 50kg | 30kg | ||
| 电机推力 | 220N/440N(峰值 ) | 330N/660N(峰值 ) | 20Nm | |
| 运动平面度 | ≤±5um | ≤±5um | ≤5um | ≤±5um |
