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【产品特点】
■为单轴，超高精度直线平台；
■配备高精度光栅，分辨率达0.1um；
■采用大理石底座，平台平面度好、长行程、大负载；
■应用于：电子加工，半导体加工等行业。
【产品二维图及选型参数】
