激光三轴直线电机加工系统

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组合方式

X轴单独固定光学平台上，YZ垂直组合

X轴行程

400mm

Z轴行程

50mm

Y轴行程

150mm

X轴Y轴Z轴电机

三相无铁芯直线电机

X轴Y轴Z轴整体材质

铝合金T6

导轨类型

直线循环滚珠导轨

光栅分辨率（nm)

50nm

限位类型

光电机械软件 三重限位

XYZ轴负载

负载3Kg

X轴双向重复定位精度

±0.3μm

X轴绝对定位精度

±1μm

Z轴双向重复定位精度

±0.3μm

Z轴绝对定位精度

±1μm

Y轴双向重复定位精度

±0.3μm

Y轴绝对定位精度

±1μm

XYZ最小步进量

0.1μm

XYZ轴速度

≥100mm/s

最大加速度

＞1G

滑台接头

DB9、DB15

配套全套线缆

3m

产品特点：

● 大理石及直线导轨有非常好的平面度及直线度

● 有铁芯直线电机保证了足够的系统刚性及动态性能

● 使用中安静平稳、噪音极低

● 有非常高的精度表现水平