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该产品使用压电陶瓷驱动，运动无需润滑，并可在很广的温度范围内工作。运动分辨率达到纳米级。能够步进和扫描双模式工作，在宏观行程范围内达到亚纳米分辨率的定位。支持开环/闭环控制。
| 外形尺寸：133*133*26.1mm | 驱动机构：钹青铜 | X轴：±50mm | 闭环重复定位精度：100nm | ||
| 运动平移量：20um | 导线：屏蔽线，铜线 | Y轴：±50mm | 闭环位置传感器分辨率：2/5nm | ||
| 总质量：653.8g | 操作温度：0-60℃ | 最大运动速度：3mm/s | 开环运动分辨率：＜1nm | ||
| 机身：铝合金 | 最大速度：温度达到40℃时，相对湿度95%（无冷凝） | 垂直运动方向负载：20N | 控制类型：开环/闭环 | ||
| 驱动：PZT压电陶瓷 | 是否适用真空：是 | 沿运动方向负载：4N | 最大驱动电压：80V | ||
