六轴并联位移台

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 姿态

X轴

Y轴

Z轴

θx

θy

θz

外形尺寸

240*300*141mm

行程

24mm

24mm

14mm

±7°

±7°

±6°

速度

±4mm/s

±4mm/s

±4mm/s

±2°/s

±2°/s

±2°/s

定位精度

0.1mm

0.1mm

0.1mm

0.1°

0.1°

0.1°

重复定位精度

0.03mm

0.03mm

0.03mm

0.01°

0.01°

0.01°

最大推力

70N