（北京航空航天大学）
组合方式 | X轴单独固定光学平台上，YZ垂直组合 |
X轴行程 | 400mm |
Z轴行程 | 50mm |
Y轴行程 | 150mm |
X轴Y轴Z轴电机 | 三相无铁芯直线电机 |
X轴Y轴Z轴整体材质 | 铝合金T6 |
导轨类型 | 直线循环滚珠导轨 |
光栅分辨率（nm) | 50nm |
限位类型 | 光电\机械\软件 三重限位 |
XYZ轴负载 | 负载3Kg |
X轴双向重复定位精度 | ±0.3μm |
X轴绝对定位精度 | ±1μm |
Z轴双向重复定位精度 | ±0.3μm |
Z轴绝对定位精度 | ±1μm |
Y轴双向重复定位精度 | ±0.3μm |
Y轴绝对定位精度 | ±1μm |
XYZ最小步进量 | 0.1μm |
XYZ轴速度 | ≥100mm/s |
最大加速度 | ＞1G |
滑台接头 | DB9、DB15 |
配套全套线缆 | 3m |