（长沙国防科技大学）
X轴行程 | 110mm |
Y轴行程 | 75mm |
XYZ轴负载 | 负载1Kg |
XY轴双向重复定位精度 | ±0.25μm |
XY轴绝对定位精度 | ＜3μm |
XY最小步进量 | 0.1μm |
XY轴速度 | ≥200mm/s |
（长沙国防科技大学）
X轴行程 | 110mm |
Y轴行程 | 75mm |
XYZ轴负载 | 负载1Kg |
XY轴双向重复定位精度 | ±0.25μm |
XY轴绝对定位精度 | ＜3μm |
XY最小步进量 | 0.1μm |
XY轴速度 | ≥200mm/s |