1、迈克尔逊干涉仪 IFS2-MI-25
这是测试样品面精度的，最常用的干涉仪之一。利用反射镜的2个垂直光路构造是其最大的特点。
干涉条纹反映了2个反射镜镜面形状的差异。
2、马赫曾德干涉仪 IFS2-MZ-25
分束后的光束，经过不同的路径，用另外一个半透半反镜重新合束而成的干涉仪。它没有采用反射往复光路，是一种光束仅通过样品一次的单程干涉仪。 因此，其读数值是迈克尔逊干涉仪或斐索干涉仪的2倍。常被用于测试某样品的透过波面。
3、斐索干涉仪 IFS2-FZ-25
斐索干涉仪构造相对简单，干涉光路短。
与前述的2种干涉仪相比，受振动或温度变化的影响较小，工作更稳定。
常被用于测量反射表面的面精度。
4、纹影法 SRS
纹影法可以定性地观测空气流动，或玻璃内部的光学不均匀性（纹理）。
它可以通过透过光强的分布，检查出无法用肉眼直接观察到的折射率的微小差异。
可以使用摄像头把纹影法所成图像读入计算机分析处理。
